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雞西氣冷羅茨真空泵-誠(chéng)澤機(jī)械-氣冷羅茨真空泵生產(chǎn)廠家 ：

濟(jì)南誠(chéng)澤機(jī)械有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)羅茨鼓風(fēng)機(jī)，三葉羅茨鼓風(fēng)機(jī)，高壓雙油箱水冷式風(fēng)機(jī)，沼氣增壓泵，管道增壓泵，真空泵的廠家，公司本著“質(zhì)量?jī)?yōu)質(zhì)，誠(chéng)信為本”的指導(dǎo)方針，以過(guò)硬的產(chǎn)品質(zhì)量，及時(shí)完善的售后服務(wù)已在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)占領(lǐng)一席之地。公司不僅有使您滿(mǎn)意的銷(xiāo)售，而且有令您放心的售后服務(wù)，徹底追求產(chǎn)品質(zhì)量和建立相應(yīng)的售后服務(wù)體系是我們一貫的方針，我們將總結(jié)經(jīng)驗(yàn)、不斷進(jìn)取，研制出更新、更好的產(chǎn)品來(lái)滿(mǎn)足用戶(hù)的需求，用我們?nèi)坏姆?wù)，為您企業(yè)的發(fā)展作有力的后盾。

干式真空泵日常維修及保養(yǎng)注意事項(xiàng)
對(duì)于整個(gè)真空泵行業(yè)來(lái)說(shuō)，在未來(lái)干式真空泵 將成為行業(yè)發(fā)展的主流趨勢(shì)，雞西氣冷羅茨真空泵，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價(jià)格高原因外，還有用戶(hù)對(duì)干式真空泵的了解不到位，看不到帶
濟(jì)效益，下面小編就來(lái)給大家介紹一下干式真空泵維修和保養(yǎng)。
對(duì)于這些不同類(lèi)型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個(gè)影
速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。真空泵維修保養(yǎng)非常重要。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變
采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控
現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來(lái)，氣冷羅茨真空泵哪里有賣(mài)，使用成本是一個(gè)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶(hù)意識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行
去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)泵如圓裂片式，爪式以及
在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。
綜合考慮，如果用戶(hù)認(rèn)為耗電量對(duì)他來(lái)說(shuō)*為重要而氮?dú)庥昧繉?duì)他來(lái)說(shuō)*不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個(gè)好的選擇。但普遍說(shuō)來(lái)，對(duì)尾氣處理越來(lái)越嚴(yán)格的要求使得將來(lái)對(duì)減少氮?dú)獾挠昧?br />果你希望用單一類(lèi)型的泵不經(jīng)過(guò)改變來(lái)處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使得你的庫(kù)存控制簡(jiǎn)單化，那么外部壓縮型螺桿式是你*好的選擇。

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保養(yǎng)方法
（一）、羅茨真空泵定期檢查：
1、每日檢查：
1）油位檢查：油量過(guò)多，使溫度升高，油量過(guò)少，造成潤(rùn)滑不良。
2）溫度檢查：用溫度計(jì)檢查泵各部位溫度。
3）電動(dòng)機(jī)負(fù)荷檢查：用功率表或電流，電壓表測(cè)量電動(dòng)機(jī)負(fù)荷。
2、羅茨真空泵每月檢查：
聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動(dòng)。
3、羅茨真空泵每3個(gè)月檢查：
齒輪箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)。
4、羅茨真空泵每6個(gè)月檢查：
1）前蓋軸承箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)。
2）活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。
3）齒輪微量程度的磨損對(duì)轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。
（二）、羅茨真空泵拆裝：
增壓泵進(jìn)行拆卸和重新裝配時(shí)，須根據(jù)以xia注意事項(xiàng)進(jìn)行：
1、羅茨真空泵未拆卸前，先測(cè)量并記錄轉(zhuǎn)子各部分間隙。
2、盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，妥善保管好。
3、將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細(xì)記錄下來(lái)。
4、羅茨真空泵重新裝配前須把各零部件清潔干凈，毛刺修光。
5、無(wú)密封墊襯或密封圈的靜密封面用“106”有機(jī)硅橡膠涂料。用干凈密封的橡膠密封件，需涂上真空考克脂。帶溢流閥真空泵溢流閥上的密封圈及平面上不得涂任柯油脂。
6、根據(jù)間隙一覽表調(diào)整轉(zhuǎn)子各部分間隙。
7、全部裝好后須進(jìn)行檢漏。
8、重裝后須進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)和必要的性能測(cè)試，待正常后才能安裝使用。

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羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。
靠泵腔內(nèi)一對(duì)葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來(lái)移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。
羅茨真空泵是指具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，
間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分；抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭?jí)為6.5×102帕，雙級(jí)為1×103帕。
羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增gao。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。